真空炉的使用主要是用来对工件进行热处理加工的，在购买以后，很多用户因为不会使用，或者使用的流程不对而导致热处理的效果不能达到预期，而且还可能会给设备带了一些损伤问题，那么正确的操作流程是怎样的呢？

1、打开真空炉炉门，装料。关闭炉门并..炉膛密封完好。

2、检查各手动真空阀门，..处于关闭状态。

3、送入总电源，控制显示屏亮。

4、打开水冷机电源，在水冷机操作界面上输入需要的水温，启动水冷系统(详见水冷机使用操作说明书)。

5、打开旋片泵上的排气口，..气体循环。 (旋片泵使用完毕后，封上排气孔，避免杂物进入旋片泵)..扩散泵、旋片泵阀门处于关闭状态。

6、在触摸屏操作界面上启动旋片泵和扩散泵。

7、缓缓旋转打开旋片泵阀门，避免排气口由于气量过大喷油。

8、待旋片泵、扩散泵运行1小时左右及真空计右侧显示屏上显示小于100Pa后，关闭旋片泵阀门，打开扩散泵阀门。

9、待真空计显示屏上达到需要的真空度后关闭真空泵组后开始升温。(真空泵组关闭流程:先关闭扩散泵阀→停止扩散泵→40分钟后停止旋片泵)也可抽真空过程中加热。

10、在升温操作界面上输入需要的工艺要求，开始加热。

11、待升温程序停止后，（如果是加入过程中抽真空，待真空炉炉膛温度降到适合工艺的温度后，关闭真空泵组，关闭流程同上）扩散泵温度降.到可触碰温度方可关闭水冷机。

12、等炉温降到室温时，打开放气阀，待炉膛内部气压到大气压。

13、将炉门打开，取出材料。

14、取出材料后要对真空炉炉膛内部进行清洁，长期不使用时炉门保持关闭状态，并使炉膛内部保持真空状态。

真空炉的热处理效果能否达到预期的那样，掌握好正确的使用操作流程是很重要的，同时按照正确步骤来操作也是对设备的一种保养措施，可以减少故障率，延长使用寿命。